全世界对离子注入装置的期待日益高涨 ~推进SDGs时代的全球战略~

全世界对离子注入装置的期待日益高涨 ~推进SDGs时代的全球战略~

荣获“年度半导体”大奖

2021年,在电子器件产业报主办的“第27届年度半导体”大赛中,2019年上市的“IMPHEAT-Ⅱ”荣获了半导体制造装置类大奖。获奖理由包括开发创新性、量产体制构筑、以及对社会的深远影响(促进碳中和等)。负责SiC功率器件用离子注入装置开发现场业务的离子束事业本部长池尻忠司出席了颁奖仪式并领取了奖杯奖状。除了开发外,池尻在销售和营业中也发挥了核心职能。

在国际学会上发表时情形 新业务推进部 技术市场开发科新事业推进部 技术市场开发组   和田 凉太
在国际学会上发表时情形 新业务推进部 技术市场开发科新事业推进部 技术市场开发组 和田 凉太
手捧奖状和奖杯的离子束事业本部长池尻
荣获“第27届年度半导体2021”大奖(2021年6月) (手捧奖状和奖杯的离子束事业本部长池尻)
日新离子机械株式会社 执行役员 离子束事业本部长  池尻 忠司
日新离子机械株式会社 执行役员 离子束事业本部长 池尻 忠司

 “在SiC器件备受瞩目的背景下,本公司分析时代动向,率先着手开发,构筑起了量产体制。本公司开发和销售的SiC功率器件用离子注入装置带来了深远影响,在我驻美期间,有一家大型功率器件生产商前来咨询,最终我们谈成了订单。以此为契机,本公司产品开始在日本国内外崭露头角。从此之后,本公司便长年致力于开发离子注入装置。我认为这么多年来积淀的技术、知识与见解形成了一定的优势。”(池尻)

在竞争中寻求差异化并开拓市场

日新离子机械株式会社 半导体装置事业部长  阪本 崇
日新离子机械株式会社 半导体装置事业部长 阪本 崇

 从当前SiC功率器件用离子注入装置的市场份额来看,NIC在日本国内占比约为90%,在日本以外占比约为40%。但半导体装置事业部长阪本崇指出竞争正逐年加剧。

“随着实现碳中和等社会性需求不断增加,其他企业也在积极布局SiC功率器件用离子注入装置市场。以半导体装置为例,有一家产品线极为全面的超大型美国企业。作为竞争对手,这是一家本公司完全无法匹敌的大型企业。在日本国内也出现了追随其发展步伐的企业。为了在竞争中脱颖而出,我们希望在追求技术优势的同时,与竞争对手形成差异化,例如切实迅速地响应客户需求、完善客户支持体制。”(阪本)

日新离子机械株式会社 营业部  营业第1科长组长   片冈 良平 ​​​​​​​
日新离子机械株式会社 营业部  营业第1科长组长   片冈 良平​​​​

营业部的片冈良平在实际营业业务的最前线奔波,致力于SiC功率器件用离子注入装置扩销。他负责包括日本在内的亚洲地区。

“我们在日本的市场占有率较高,客户对其运行稳定性也给予了高度评价。在亚洲其他国家或地区,尤其是来自韩国和中国的客户咨询不断增多。在市场拓展潜力巨大的中国,既有具备极高市占率的当地生产商,也有先于本公司踏入当地市场的日本生产商。竞争正逐年加剧。若把中小型企业也纳入其中的话,可以说SiC功率器件生产商正处于混战状态,我认为必须找准有发展潜力的企业和有成功潜力的市场。我希望展示本公司优势,竭尽全力开拓亚洲市场。”(片冈)

从全球战略的角度来看,课题在于欧洲市场。位于奥地利的客户支持合作企业是NIC唯一的欧洲据点。今后,NIC计划通过设立公司网点、开展细致的客服及售后维护等,来提升在欧洲的威望。

日新离子机械株式会社全球网点
日新离子机械株式会社全球网点
日新离子机械株式会社全球网点

对标FPD装置,争取实现100%市场份额

日新离子机械株式会社 取缔役  小西 正志
日新离子机械株式会社 取缔役 小西 正志

以上介绍了功率器件制造用离子注入装置,而NIC还有一个主力产品,即FPD(平板显示器)制造用离子注入装置。该领域的负责人是取缔役小西正志,他希望以FPD装置为对标,不断提升SiC功率器件用离子注入装置的市场定位。

“智能手机就是一种搭载了FPD的常见产品。制造FPD时必须使用离子注入装置,本公司生产装置的市占率达到了100%。如果没有本公司生产的装置,就造不出智能手机的高清显示屏。虽然曾经也有过其他竞争对手,但都逐渐退出了市场。同样地,我希望SiC功率器件用离子注入装置的市场占有率也能达到100%。为了实现这一目标,我认为关键在于向新技术和新市场发起挑战。”(小西)

NIC于2021年4月开始施行日新电机集团中长期计划“VISION2025”,即以SDGs为发展战略之核心,致力于强化相关事业基础。SiC功率器件用离子注入装置的开发与扩销也是其中一环,旨在运用离子束和等离子技术,发展成为集创新装置、技术与服务为一体的综合供应商。

“离子注入技术是提升全球环境可持续性的关键技术。我认为向全世界提供该技术,有助于实现碳中和,有助于构筑起一个人人都能发挥积极作用的社会。这是我们公司全体员工共同的志向和梦想。今后我们将继续实践相关举措,也就是通过业务增长促进社会发展。”(前文提到的长井)

SiC功率器件市场有望在未来进一步发展。它可以大幅减少用电过程中的温室气体排放。毋庸置疑,NIC就是该领域的先行者。住友电工集团将以NIC的举措为榜样,抓住一切机会,持续开展地球环保活动。

MPHEAT-Ⅱ的外观
MPHEAT-Ⅱ的外观