实现碳中和社会的重要技术～时代所需的全新功率器件～

汽车、智能手机或个人电脑等各种产品中都内置有半导体，若离开半导体，我们的生活就会陷入停滞。而随着汽车EV（电动汽车）化，可以确信今后用电量将进一步增大。这就要求我们要高效利用电力。其关键就在于功率器件（功率半导体）。近年来，为实现电力高效利用，新一代功率器件材料SiC（碳化硅）正备受关注。

住友电工集团旗下的日新离子机械株式会社自20世纪70年代开始研发半导体制造工序所需的“离子注入”技术，并向市场推出了优质的装置产品。随后，在SiC功率器件备受瞩目的背景下，该公司开发出了可响应社会及市场需求的全新离子注入装置，并获得了各界的高度评价。但用于制造SiC功率器件的离子注入技术尚未成熟。为升级技术，该公司开始推进产品研发相关举措。SiC功率器件的普及和拓展可促进温室效应气体减排，进而极大推动实现碳中和社会的进程。本次将介绍业界首创SiC功率器件特化型离子注入装置的开发轨迹和最新信息。